方案概述
在半導體生產的晶圓切割、化學機械拋光(CMP)、光刻及清洗等制程中,會產生含氟、含氨、研磨顆粒及有機溶劑(如 TMAH)的復雜廢水,高氟廢水兼具強腐蝕性與高毒性,CMP 廢水中的微小顆粒則因難以去除,若直接排放將對水體造成不可逆的破壞。針對這一廢水特性,我司打造了定制化處理方案,通過精準處理各類污染物,可有效降低廢水危害,確保達標排放,為半導體生產企業的環保運營提供有力保障。
含氟廢水:采用“二級沉淀 + 結晶流化床”技術,實現氟化物深度去除與資源化。
CMP廢水:應用“高效混凝 + 膜過濾”組合,有效去除納米級二氧化硅顆粒。
綜合廢水:整合離子交換、RO/EDI等技術,實現高標準回用。
