泛半導(dǎo)體（芯片、顯示、光伏、半導(dǎo)體照明等）是國家戰(zhàn)略性高端產(chǎn)業(yè)，其生產(chǎn)過程產(chǎn)生的廢氣具有高毒有害、成分復(fù)雜、濃度波動大、處理要求極高的特點(diǎn)，對治理系統(tǒng)的安全性、穩(wěn)定性、精度要求遠(yuǎn)超普通行業(yè)。
深圳市天得一環(huán)境科技有限公司，深耕工業(yè)廢氣治理多年，聚焦泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)CVD、外延、刻蝕、清洗、顯影等關(guān)鍵工序，針對VOCs、強(qiáng)酸強(qiáng)堿、特種高危氣體、硅烷類廢氣，提供高精度、高安全、高可靠性的一體化治理解決方案，已成功服務(wù)天域半導(dǎo)體等行業(yè)頭部企業(yè)，以技術(shù)實力與標(biāo)桿案例，成為泛半導(dǎo)體廢氣治理領(lǐng)域可靠伙伴。
一、公司實力與權(quán)威資質(zhì)
作為國家高新技術(shù)企業(yè)、專精特新 “小巨人” 企業(yè)，天得一具備服務(wù)高端制造的全鏈條能力；
擁有環(huán)境工程設(shè)計、環(huán)保工程承包、機(jī)電安裝等全資質(zhì)；
通過 ISO9001、ISO14001、ISO45001 等體系認(rèn)證；
自主研發(fā)核心設(shè)備，具備設(shè)計 — 生產(chǎn) — 施工 — 運(yùn)維全流程交付能力；
多年半導(dǎo)體級項目實戰(zhàn)經(jīng)驗，安全穩(wěn)定、長期達(dá)標(biāo)。
二、泛半導(dǎo)體行業(yè)廢氣治理痛點(diǎn)
泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈在電子化學(xué)品生產(chǎn)、CVD、外延檢修、刻蝕、顯影、清洗等環(huán)節(jié)產(chǎn)生的廢氣主要包括：
1. 酮類、醇類、烴類等 VOCs
2. 氟化物、氯化氫、硫酸霧、氨等 酸堿氣體
3. SiH?、PH?、B?H?、AsH?、PFCs 等 高危特氣
廢氣治理的核心：將極高危工藝廢氣通過精密、可靠、協(xié)同的系統(tǒng)，安全轉(zhuǎn)化為穩(wěn)定無害物質(zhì)，是生產(chǎn)安全與環(huán)保達(dá)標(biāo)關(guān)鍵。
三、天得一核心治理設(shè)備與方案
1. 干式吸附設(shè)備（Dry Scrubber）
采用專研吸附劑，牢牢固定有害成分，生成穩(wěn)定固態(tài)化合物；尾氣進(jìn)入多級酸堿塔 + 吸附中央系統(tǒng)，安全穩(wěn)定。
2. 多級水洗設(shè)備（Wet Scrubber）
自主研發(fā)，六級及以上水洗室，氣液充分接觸，凈化效率 ≥ 99%，適配泛半導(dǎo)體常規(guī)酸堿與 VOCs 廢氣。
3. 電熱水洗設(shè)備（Heat Wet Scrubber）
可處理 1000℃內(nèi)可分解特氣，凈化效率高達(dá) 99.9%，裂解 + 燃燒 + 冷凝，安全徹底。
4. 電熱水冷設(shè)備（HC Scrubber）
專為氫氣、氨氣定制，高溫裂解 + 燃燒 + 多級冷凝，凈化效率 99.9%。
5. 等離子水洗設(shè)備（Plasma Wet Scrubber）
反應(yīng)溫度 1500–3000℃，凈化效率 ≥ 99.9%，適用范圍更廣、處理更徹底。
6. 硅烷燃燒水洗塔
自研新型專用設(shè)備，燃燒 + 吸收 + 清灰一體化，凈化效率高達(dá) 99.99%，專門應(yīng)對硅烷類高危廢氣。
四、成功案例：天域半導(dǎo)體
天域半導(dǎo)體是國內(nèi)前三的碳化硅外延片制造商，生產(chǎn)過程產(chǎn)生非甲烷總烴、酸霧、氨氣等復(fù)雜廢氣。
治理方案：預(yù)處理 + 兩級活性炭深度吸附 + 酸堿塔吸收
項目成果：系統(tǒng)穩(wěn)定運(yùn)行、排放長期達(dá)標(biāo)、安全無隱患，成為泛半導(dǎo)體廢氣治理標(biāo)桿示范項目。
五、我們的核心優(yōu)勢
高安全：全流程防爆、防腐蝕、防泄漏設(shè)計
高精度：適配半導(dǎo)體級嚴(yán)苛廢氣標(biāo)準(zhǔn)
高效率：核心設(shè)備凈化效率最高可達(dá) 99.99%
全案例驗證：頭部半導(dǎo)體企業(yè)實戰(zhàn)背書
一站式交付：方案、設(shè)備、施工、運(yùn)維全覆蓋
天得一，以硬核技術(shù)守護(hù)泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)安全，助力中國高端制造綠色高質(zhì)量發(fā)展。
